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苏州永创 睿能·非衡_系列 正负不对称双极性脉冲电 ...
苏州永创 睿能·非衡_系列 正负不对称双极性脉冲电源
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心麾浪
2025-11-4 10:25:08
猛犸象科技工作室:
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苏州永创睿能·非衡_系列
正负不对称双极性脉冲电源
PPS±feih
正负不对称双极性脉冲电源
1. 产品概述
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih苏州永创智能科技有限公司开发生产。睿能·非衡系列电源专为高级镀膜工艺而设计的高精度、高性能电源解决方案。
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih它创新性地采用了双极性不对称输出设计,可独立产生+1200V/选配2000V的正脉冲与-900V/选配1500V的负脉冲,并能在10kHz至50kHz的高频范围内进行精确的脉冲调制。通过独立控制正负脉冲的宽度与频率,该电源能实现对等离子体环境的精准塑造,显著提升薄膜的附着力、致密性与综合性能,是追求卓越镀膜质量的用户的理想选择。
正负不对称双极性脉冲电源PPS±feih苏州永创智能科技有限公司开发生产。
2. 产品特点
①核心双极不对称输出
独立电压控制:正极性输出高达 +1200V,负极性输出达 -900V,这种独特的电压不对称性,能为工艺过程提供更优化的能量输入。
协同占空比调节:正脉冲占空比(80%100%)与负脉冲占空比(20%0%)协同可调,实现对离子轰击与沉积过程的独立精细控制,从而优化薄膜生长动力学。
② 高频精密脉冲调制
宽频可调:工作频率在 10kHz ~ 50kHz 范围内可数字设置,满足不同工艺阶段对脉冲频率的多样化需求。
高精度输出: 输出电流 0~1A 可调,确保在复杂工艺条件下仍能提供稳定、纯净的脉冲波形。
③卓越的可靠性与稳定性
软启动技术:内置先进的软启动电路,有效抑制开机瞬间的电压电流冲击,保护电源本身及后端昂贵的镀膜设备。
严格过冲控制:输出电压过冲被严格控制在极低水平,确保工艺重复性和膜层质量的一致性,保护基片与靶材。
④智能化与可视化操作
数字设置与监控:所有关键参数(电压、频率、占空比)均可通过前面板数字设置,并实时显示工作状态,操作直观简便。
3. 典型应用
① 高级真空镀膜
PVD(物理气相沉积):如磁控溅射、电弧离子镀等工艺中,作为基体偏压电源,用于精确控制离子对基片的轰击能量与方向。
制备高性能薄膜:如类金刚石薄膜(DLC)、氮化钛薄膜(TiN)、氧化铝薄膜等硬质、耐磨、防腐涂层。
② 表面工程与改性
等离子体浸没离子注入与沉积。
材料表面清洗与活化处理。
③ 前沿科研领域
等离子体物理、新材料合成等需要对等离子体参数进行精密调控的科学研究。
4. 参数规格
序 项目........................要求
输出电压....................正极性+1200V
输出电压....................负极性-900V
输出电流.....................0~1A
频率........................10kHz~50kHz可设置
占空比......................PWM1(正脉冲)占空比80~100%
占空比......................PWM2(负脉冲)占空比20~0%
注意事项1...................电源的电压电流数据采用485传输
注意事项2...................PWM1和PWM2是互补的关系,
注意事项3...................PWM1和PWM2的占空比设置要加入死区(固定值或百分比,当频率高的时候固定值合适点)
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